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    福州大學離子束刻蝕機順利驗收

    來源:那諾-馬斯特中國有限公司  發布時間:2022/11/22 12:18:25  點擊次數:2727

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      后疫情時代,NANO-MASTER工程師步履不停,一站接一站為客戶提供設備安裝調試服務。福州大學,那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗收NIE-3500型離子束刻蝕機!

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    性能配置:

    • 離子束刻蝕機用于刻蝕金屬和介質,z大可支持6”晶圓。

    • 配套美國考夫曼-羅賓遜 KDC160離子槍,650mA,100-1200V?涛g速率:~250A/min對Au;刻蝕均勻度:對4”片,片內均勻性優于±3%,重復性優于±3%。

    • 樣品臺可旋轉,轉速0-30RPM*可控;可任意角度傾斜,支持斜齒刻蝕;帶水冷功能,刻蝕后易去除光刻膠。

    • 極限真空12小時可達6x10-7Torr,15分鐘可達10-6Torr量級的真空;采用雙真空計,長期可靠,使用穩定。

    • 14”不銹鋼立方腔體,配套一臺主控計算機,20”觸摸屏監控,配合Labview軟件,實現計算機全自動工藝控制,并可在電源中斷情況下安全恢復;完全的安全聯鎖;支持百級超凈間使用。

       

    驗收培訓:

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