福州大學離子束刻蝕機順利驗收

　　后疫情時代，NANO-MASTER工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設備安裝調試服務。福州大學，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗收NIE-3500型離子束刻蝕機！

性能配置：

• 離子束刻蝕機用于刻蝕金屬和介質，z大可支持6”晶圓。

• 配套美國考夫曼-羅賓遜 KDC160離子槍，650mA，100-1200V�？涛g速率：~250A/min對Au；刻蝕均勻度：對4”片，片內均勻性優于±3%，重復性優于±3%。

• 樣品臺可旋轉，轉速0-30RPM*可控；可任意角度傾斜，支持斜齒刻蝕；帶水冷功能，刻蝕后易去除光刻膠。

• 極限真空12小時可達6x10-7Torr，15分鐘可達10-6Torr量級的真空；采用雙真空計，長期可靠，使用穩定。

• 14”不銹鋼立方腔體，配套一臺主控計算機，20”觸摸屏監控，配合Labview軟件，實現計算機全自動工藝控制，并可在電源中斷情況下安全恢復；完全的安全聯鎖；支持百級超凈間使用。

   

驗收培訓：